一种等离子全方位真空镀膜电源及其镀膜方法

摘要

本发明公开一种等离子全方位真空镀膜电源，该电源包括连接输入电源的电路，所述电路包括滤波器、整流电路、滤波电路、直流逆变电路、高频升压变压器、二次整流电路、二次滤波电路、IGBT斩波、等离子负载以及阻抗，本发明还提供了一种实现所述等离子全方位真空镀膜电源的镀膜方法，本发明具有较高的峰值电流，最高可达到1000A，高的峰值电流可以提高等离子体的离化率，制备出的涂层更加致密、结合力更好，具有降低成本，提高效率，降低次品率的优点。