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真空镀膜机靶电源的模糊控制系统

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摘要

阐述了三靶真空镀膜机靶电源模糊控制系统,介绍了该系统的控制策略,由PLC的程序实现靶电流闭环模糊控制的硬件电路和相应的工艺运行程序,获得稳定的靶电流情况.

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来源
《机械设计与制造》|2004年第4期|27-28|共2页
作者
徐祖华;
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作者单位

南华大学电气工程学院,衡阳,421001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类输配电技术;
关键词
模糊控制; 电流闭环控制; 靶电源; PLC;
入库时间 2023-07-24 19:35:30

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