一种锗基底红外长波通滤光片

摘要

本实用新型公开了一种锗基底红外长波通滤光片，该滤光片在光学镀膜过程中使用锗（Ge）为高折射率材料，使用硫化锌（ZnS）为低折射率材料，利用物理气相沉积（PVD）的方法，在锗基底的两个表面分别沉积多层非规整的膜层。为了提高该滤光片的膜层可靠性，在镀膜前使用离子源辅助清洁的方法并设置适当的基底烘烤温度等特定工艺条件。该长波通滤光片在8~14μm波长区间内具有优良的透光效果，平均透过率＞92%，在1~7μm波长区间内高度截止，可以有效降低次峰干扰，提高红外探测器的探测效率。