文件检测仪器—长波通滤光片的研究

摘要

在文检仪光学系统中，长波通滤光片占有很重要的地位。本文从薄膜光学的基本理论和膜系设计理论方面进行长波通滤光片的膜系设计。具体针对工作波段为380nm到720nm，设计并优化膜系，选用TiO<,2>和SiO<,2>作为镀膜材料，试验在GX-900A全自动真空镀膜机上完成，利用电子束和离子辅助进行沉积镀膜，并用UV3100PC分光光度计测试光谱特性曲线。最后对制备的长波通滤光片薄膜进行了各种环境实验。结果表明，膜层的各项指标均符合使用要求。

目录

文摘

英文文摘

声明

第一章绪论

§1.1课题研究的目的和意义

§1.2国内外发展现状

§1.3论文的研究内容

第二章薄膜设计理论

§2.1单层介质膜

§2.2多层介质膜

§2.3长波通干涉截止滤光片

§2.4膜系等效折射率原理

§2.5通带波纹的压缩

第三章膜系设计

§3.1长波通滤光片的使用要求

§3.2镀膜材料的选择

§3.3长波通滤光片的膜系设计

第四章镀制工艺

§4.1薄膜制备的装置

§4.2电子束蒸发原理

§4.3离子辅助镀膜

§4.4膜厚监控原理

§4.5分析膜层的形成过程

§4.6长波通滤光片的制备工艺过程

§4.7注意事项

第五章测试结果与分析

§5.1薄膜质量的检测

§5.2误差分析

结论

致谢

参考文献