中波红外短波通滤光片的设计与镀制技术研究

摘要

研究了中波红外宽光谱短波通滤光片优化设计和镀制,论述了设计该种滤光片的原则和方法.根据等效折射率理论,以周期性对称膜系为基础,使用部分膜层优化方法,设计了中波红外宽光谱短波通滤光片,在2 300～4 700 nm透射波段范围上的平均透射率设计值大于90%,在5 000～6 300 nm截止波段范围上的平均透射率小于1.00%.采用"会聚光红外光学系统"和等离子体辅助沉积工艺实验制备了滤光片.实验表明,在透射波段范围上的平均透射率约为83%,截止波段的平均透射率约为0.45%.结果表明,部分膜层优化方法设计的膜系,膜层结构简单,有利于膜层厚度的监控.