6.5～14μm红外长波通滤光片正面膜系的研制

摘要

采用了规整膜系作为6.5～14μm红外长波通滤光片正面膜系的初始膜系,针对规整膜系中存在较大通带波纹的现象,利用Macleod光学薄膜分析软件有选择地对部分膜层进行优化.根据优化后的膜系设计结果,采用热电阻真空蒸发镀膜工艺镀制.光谱测试表明,膜系在6.5～14μm工作波段的通带波纹平坦,平均透过率达到88.5%,在3～5.5μm截止范围内Tmax<0.2%,并具有很好的截止带边缘陡度.该膜系具有工艺简单,膜厚监控易于操作的特点,适用于工业大规模生产.