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公开/公告号CN103219236B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 北京工业大学;
申请/专利号CN201210560204.1
发明设计人 胡冬青;吴郁;贾云鹏;张惠惠;
申请日2012-12-20
分类号
代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司;
代理人吴荫芳
地址 100124 北京市朝阳区平乐园100号
入库时间 2022-08-23 09:42:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-07-06
授权
2013-08-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/331 申请日:20121220
实质审查的生效
2013-07-24
公开
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