一种磁控溅射镀金属电极治具底座及其治具组件

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射镀金属电极治具底座及其治具组件，治具底座包括支撑底板，在支撑底板的上表面上设置有支撑轴，且支撑轴为二级阶梯轴，其大径端与支撑底板连接。治具组件包括治具底座以及安装在底座上方的治具，治具包括镀膜底座，在镀膜底座上设置有配合孔，支撑轴的小径段插入配合孔中，且镀膜底座的下表面与支撑轴的大径段轴上远离支撑底板的端面接触；在镀膜底座的上表面上设置有多个镀膜凹槽。本实用新型其结构简单，上料、下料快速方便，且能批量性进行多个晶片的镀膜，提高生产效率和提高时间利用率，降低备料时间。