气动波纹管驱动超精密二维定位平台

摘要

本实用新型属于超精密机械技术领域，涉及一种超精密定位平台。超精密二维定位平台，包括气动伺服定位平台；所述的气动伺服定位平台包括气浮导轨、波纹管、支撑系统、载物台、气源；所述的支撑系统包括互相垂直的X轴支撑架Y轴支撑架；所述气浮导轨安装在支撑系统上；所述波纹管与气浮导轨连接，用于驱动气浮导轨在两个自由度X、Y方向上位移；所述载物台安装在所述气浮导轨上；所述波纹管和气浮导轨与气源连接。本实用新型的气动波纹管驱动超精密二维定位平台，平台两个自由度X，Y方向上的位移，都是由电气比例阀通过控制波纹管的伸缩，驱动气浮导轨来实现的。相比现有技术，本实用新型的平台结构精简，能够实现平台的二维超精密定位。