一种音圈电机驱动二维超精密定位平台

摘要

本发明涉及一种音圈电机驱动二维超精密定位平台，第一电机安装于横底座上；上下移动平台固连在第一电机上方由第一电机驱动沿着铺设于竖底座的第一导轨上下移动，并由分别安装在竖底座侧面的第一光栅尺读数尺和上下移动平台侧面的第一光栅尺读数头配合测量上下位移量；前后移动平台位于上下移动平台上方，由安装在上下移动平台上的第二电机驱动沿着铺设于上下移动平台上的第二导轨前后移动，并由分别安装在上下移动平台侧面的第二光栅尺读数头和前后移动平台侧面的第二光栅尺读数尺配合测量前后位移量；本发明具有传动误差小、平台体积小、响应速度快、承载能力强、精确度高、人机效能高、可实现不同控制模式等优点。