机译:带有挠性导向的音圈电机驱动的六自由度运动精细平台的设计
Flexure; VCM; Fine stage; Modeling; Optimization;
机译:带有挠性导向的音圈电机驱动的六自由度运动精细平台的设计
机译:用于六自由度光刻设备的新型矩形音圈电机的建模与分析
机译:使用具有可变订单的模糊分数PID控制的音圈电机驱动双轴定位级的非线性轮廓跟踪
机译:音圈电机驱动阶段的建模,识别和自适应鲁棒运动控制
机译:盘绕卷材的分子动力学指导设计
机译:同时测量长线性平台的六自由度几何误差的测量系统设计
机译:基于挠曲机构的新型音圈电机驱动微定位平台
机译:六自由度振动台,主动隔振器和万向舞台,用于精密运动控制和目标跟踪研究