一种10管高产能PECVD设备

摘要

本实用新型公开了一种10管高产能PECVD设备，包括气源柜、主机、密封炉门机构和工作台，气源柜的一侧固定连接有主机，且主机远离气源柜的一侧固定连接有密封炉门机构，密封炉门机构远离主机的一侧固定连接有工作台，工作台内壁的一侧固定连接有上下料机械手。该高产能PECVD设备，通过气源柜的一侧固定连接有主机，通过该结构设备的创新，使得单位面积的产能提高了50%，降低了晶片的生产成本，给企业带来更高的效益，通过工作台的内部滑动连接有石墨舟，新的石墨舟载片量达到600片，石墨舟形成两个回路，避免了电场的衰减，增大石墨舟的载片能力，不仅带来高产能，也能优化PECVD工艺指标。