一种晶圆缺陷测试仪用气浮轨道水平度精密稳定装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆缺陷测试仪用气浮轨道水平度精密稳定装置，涉及半导体技术领域，该装置根据固定在工作平台上的水平传感器的反馈数据，通过气泵输出的压缩空气精确控制工作平台各个区域的高度，通常是控制工作平台各个角的高度从而调节工作平台的水平度，水平度具有数据化标准，可以避免主观判断带来的不确定性，同时压缩空气调节工作平台的高度，静态水平度控制精度高、无反复震动问题，可以良好的屏蔽放置在工作平台上的多轴移动平台和外部环境震动对工作平台水平度的影响，实现水平度的稳定控制，使得放置在工作平台上的多轴移动平台可以实现对半导体晶片的样品的高精度控制。