气浮测量装置精密大理石平台的研磨方法

摘要

气浮测量装置属于二自由度龙门式测量装置.运动滑块装配在花岗岩大理石导轨上,滑块内装有多孔质气浮轴承,气体通过空气过滤器和精密减压阀提供给气浮轴承保证滑块在导轨上基本无摩擦运行.气浮测量装置安装在精密花岗岩大理石平台上.研磨过的大理石平台平面度和光洁度达不到测量和装配要求,为了进一步提高大理石平面的精度,对大理石平面进行再次研磨.研磨前要进行研磨平板、磨料、研磨液和电子水平仪的选型,实验中用电子水平仪进行平面度的反复测量和用研磨平板进行反复研磨.测量结果显示的大理石平面度的精度较研磨前有明显提高.