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新型气浮垫超精密研磨过程分析与仿真

         

摘要

气浮垫的超研磨过程对研磨质量有决定性的影响,研究气浮垫的研磨过程对于保证气浮垫研磨后的表面质量有重要的意义,文中从运动学和几何学的角度出发,建立了气浮垫精密研磨的轨迹方程,并利用编写计算机程序对其仿真,分析主要工艺参数对气浮垫的表面质量的影响.

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