一种电子元器件专用检漏设备

摘要

本实用新型提供一种电子元器件专用检漏设备，包括：显示系统、控制系统、轻氟油加压系统、重氟油检测系统、氦检漏罐、储油罐A、储油罐B、氦质谱检漏系统、真空泵、抽空阀A、抽空阀B、注油阀A、注油阀B、氢检漏阀、放油阀A、放油阀B、加压阀、压力变送器、温度传感器、加热棒、抽油阀、抽油泵；本实用新型通过将多部检测融为一体，减少工序，提升自动化程度，降低劳动成本与劳动强度，同时增加了检测范围，提高了检测效率。