公开/公告号CN209039570U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-06-28
原文格式PDF
申请/专利号CN201821730823.X
申请日2018-10-24
分类号
代理机构南京知识律师事务所;
代理人王一源
地址 519070 广东省珠海市前山金鸡路789号科技楼
入库时间 2022-08-22 09:39:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-28
授权
授权
机译: 使用铝制的加热卡盘,其中包括使用一种新开发的铝制加热器来解决现有威化卡盘中的问题,以修复半导体制造中使用的威化膜及其薄膜加工方法
机译: 使工件表面粗糙化涉及使用压缩空气针头装置在液体涂层下面进行粗糙化,针头的锥形自由表面朝向工件表面
机译: 改善和着色铝制工件表面,使用蚀刻剂和氧化剂气体等离子在高温和减压下对其进行处理