公开/公告号CN103597583B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 古河机械金属株式会社;
申请/专利号CN201280024377.X
申请日2012-03-15
分类号
代理机构隆天知识产权代理有限公司;
代理人张永康
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:41:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-08
授权
授权
2014-03-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20120315
实质审查的生效
2014-02-19
公开
公开
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