光阻输送管、光阻输送系统及光阻涂布设备

摘要

本申请提供了一种光阻输送管、及具有其的光阻输送系统、及具有该光阻输送系统的光阻涂布设备，其中，所述光阻输送管为弹性中空结构，且所述光阻输送管整体呈可伸缩的螺旋状，所述光阻输送管连通于光阻罐与缓冲罐，用于将光阻罐内光阻传送至缓冲罐中。