用于光阻涂布显影设备的散热装置及光阻涂布显影设备

摘要

本实用新型公开了一种用于光阻涂布显影设备的散热装置，该散热装置包括第一散热板、第二散热板及连接架，所述第一散热板、连接架、第二散热板由上至下依次叠装连接，所述连接架中空，以使第一散热板和第二散热板之间形成一空腔，从而让第一散热板和第二散热板相互传递温度的能力减弱，以达到散热效果最佳；该散热装置夹设于光阻涂布显影设备的第一机械臂和第二机械臂的中间，起到隔温、散热的作用，有效调节第一机械臂和第二机械臂之间不窜温，将冷腔和热腔温控系统延伸至机械手臂和半导体晶圆上，大大改良了晶圆的处理工艺，有效提高了半导体的生产稳定性和产品良率。