SOKUDOが次世代塗布現像装置を発売

摘要

SOKUDO は，高生産性を追rn求した次世代塗布現像装置rn「SOKUDO DUO （ソクドデュrnオ）」を発売する。同製品は，rn同社にとって会社発足以来初めrnての新機種製品となる。rnリソグラフィ工程では．液浸rn2重露光など超微細化プロセスrnの導入に伴い,露光装置が高性rn能・高額化している。