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Photoresistivity and Photo-Hall-Effect Topography on Semi-insulating GaAs Wafers

机译:半绝缘GaAs晶片的光阻和光霍尔效应形貌

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摘要

By placing a semi-insulating GaAs wafer on a fiat, rare-earth magnet, and irradiating the surface with two perpendicular slits of light to form a Greek cross configuration, it is possible to perform photoresistivity and photo-Hall-effect topography on the wafer. The technique is nondestructive in that the contacts are tiny, removable In dots which are placed only on the periphery. By varying the wavelength of the light, selective centers, such as EL2, can be mapped. We compare a 1.1-μ, photoexcited electron concentration map with a quantitative EL2 map on a 3-in. undoped, liquid-encapsulated Czochralski wafer.
机译:通过将半绝缘的GaAs晶片放置在平坦的稀土磁体上,并用两个垂直的光狭缝照射表面以形成希腊十字形构型,可以在晶片上执行光阻性和光霍尔效应形貌。该技术是非破坏性的,因为触点很小,可移动的In点仅放置在外围。通过改变光的波长,可以映射选择性中心,例如EL2。我们将1.1微米的光激发电子浓度图与3英寸上的定量EL2图进行了比较。未掺杂,液体封装的切克劳斯基晶片。

著录项

  • 作者

    Look David; Pimentel E.;

  • 作者单位
  • 年度 2012
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  • 正文语种
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