一种基于压阻原理的电子式机油压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于压阻原理的电子式机油压力传感器，涉及传感器技术领域，该该机油压力传感器利用MEMS系统中的压阻式测量原理，采用陶瓷新材料作为传感器基础材料，工作时产品性能可靠、稳定，产品成本低，陶瓷芯体中采用烧结方案构筑的微纳结构电阻进行压力测量，结果精确，陶瓷材料作为压力载体受外界环境温湿度的影响较少，可耐含有多种类杂质的机油腐蚀，通用性强，整个结构紧密、无渗漏油，耐腐蚀性、可靠性、耐疲劳性能高，更为可靠。