基于应力集中原理的压阻式压力传感器

摘要

本文提出了一种灵敏度高、线性好，用于３００Ｐａ压力测量的压阻式微型压力传感器，为减少非线性，这种传感器采用了由４个弹性梁和一个刚性中心膜构成的模片结构。本文讨论了该传感器的有限元仿真、制作工艺和传感器特性等问题。