一种能有效避免非敏感方向误触发的三轴阈值加速度计

摘要

本实用新型属于微机电系统技术领域，具体涉及一种能有效避免非敏感方向误触发的三轴阈值加速度计，包括衬底、可动电极悬挂弹簧、质量块、水平固定电极和垂直固定电极。衬底上设有凸条、可动电极支撑柱子、水平固定电极支撑柱子和垂直固定电极支撑柱子。可动电极悬挂弹簧一端与质量块相连、另一端与可动电极支撑柱子相连并将质量块悬空于凸条和水平固定电极支撑柱子上方，形成可动电极。水平固定电极一端与水平固定电极支撑柱子固定连接，另一端位于质量块侧面。垂直固定电极与垂直固定电极支撑柱子固定连接形成悬臂梁结构，垂直固定电极悬空于质量块上方。本实用新型实现了敏感方向和非敏感方向的加速度梯度差分，提高了器件的可靠性和稳定性。