公开/公告号CN208818386U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-05-03
原文格式PDF
申请/专利权人 上海拜安传感技术有限公司;
申请/专利号CN201821404881.3
申请日2018-08-29
分类号
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人王洁
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路150号4号楼4楼
入库时间 2022-08-22 09:02:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-03
授权
授权
机译: 光学MEMS压力传感器的法布里-珀罗腔残余压力测量系统及其方法
机译: MEMS芯片,测量元件和用于测量压力的压力传感器
机译: MEMS芯片,测量元件和用于测量压力的压力传感器