一种新型背钝化背膜正膜机台镀膜连体上下料装置

摘要

本实用新型公开了一种新型背钝化背膜正膜机台镀膜连体上下料装置，包括自动化上下料装置，所述传送轨道一两端分别连接于背膜机台和正膜机台，且传送轨道一上设置有石墨舟一；所述第一机械手设置于靠近ALD背钝化机台处，所述第二机械手设置于靠近背膜机台处，所述第三机械手设置于靠近正膜机台处。本实用新型的三工序连体式减少硅片与片框、石墨舟接触次数，减少背钝化和背膜后电池片暴露空间与粉尘等异物接触时间，改善硅片划伤、脏污，减少少子复合，提高硅片表面洁净度有利钝化效果，提升开路电压，从而提升光电转换效率，另因脏污、划伤极易导致EL问题影响成品电池的品质，此改善也提高成品电池的良品率。