一种新型背钝化背膜正膜机台镀膜连体上下料装置及方法

摘要

本发明公开了一种新型背钝化背膜正膜机台镀膜连体上下料装置，包括自动化上下料装置，所述传送轨道一两端分别连接于背膜机台和正膜机台，且传送轨道一上设置有石墨舟一；所述第一机械手设置于靠近ALD背钝化机台处，所述第二机械手设置于靠近背膜机台处，所述第三机械手设置于靠近正膜机台处。本发明的三工序连体式减少硅片与片框、石墨舟接触次数，减少背钝化和背膜后电池片暴露空间与粉尘等异物接触时间，改善硅片划伤、脏污，减少少子复合，提高硅片表面洁净度有利钝化效果，提升开路电压，从而提升光电转换效率，另因脏污、划伤极易导致EL问题影响成品电池的品质，此改善也提高成品电池的良品率。