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不同镀膜流程对多晶硅背钝化效率和EL的影响

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摘要

介绍了一种通过调整背钝化工艺流程改善多晶硅太阳电池缺陷的方法,通过将正背背流程改为背正背流程,电池片EL舟印的问题可以解决,同时还可提升电池片效率.

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来源
《太阳能》 |2018年第3期|48-4953|共3页
作者
江坚; 陈刚; 张斌; 张剑峰; 王仕鹏; 黄海燕; 陆川;
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作者单位

浙江正泰太阳能科技有限公司;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
PECVD; 背正背流程; 舟印; 电池片效率; 背钝化; EL; ALD;

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