用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜

摘要

本实用新型公开了用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜，包括输出镜密封壳和密封圆板，所述输出镜密封壳的一侧固定安装有密封板，所述密封板的内部开设有安装孔，所述密封板嵌入安装在密封圆板的外缘，所述密封圆板的内部固定安装有输出镜主体，所述密封板的一侧设置有喷吹器，所述喷吹器的两侧均开设有缓存腔，所述输出镜主体的两侧均安装有光学膜片，且输出镜主体设置有不少于四个，两个所述输出镜主体中部组成一个空腔，且输出镜主体、喷吹器和缓存腔之间连通，本实用新型解决了输出镜较易损坏及工作效率相对低下的问题。