一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统

摘要

一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统，由于使用两个图像传感器通过光学成像装置，分别获取晶圆的整体图像和边缘图像，依据晶圆的整体图像和边缘图像获取晶圆承片台的调节参数，进而完成晶圆对准，使得可采用图像分辨率相对较低的图像传感器实现晶圆对准，降低生成产成本的同时提高晶圆对准效率。