一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，包括腔室、密封腔体、轴衬、推进轴和复位弹簧，轴衬伸入密封腔体内向密封腔体充入空气，密封腔体可上下伸缩变形，推进轴的推进轴顶盖固定安装在密封腔体的底部位置，推进轴的推进轴本体一端垂直安装在柔性板上，另一端固定安装在推进轴顶盖上，复位弹簧缠绕在推进轴本体上，复位弹簧的顶端固定安装在推进轴顶盖上，另一端固定安装在腔室的内侧底部，复位弹簧上还固定安装有一压力传感器，与现有技术相比，该装置通过于复位弹簧上设置的压力传感器检测弹簧的压力值以判断柔性板的运动位置，解决了密封腔体久而变形在相同的空气压力下，无法推动柔性板至预期位置的技术问题。