一种势垒高度可调的肖特基二极管

摘要

本实用新型公开了一种势垒高度可调的肖特基二极管，包括N型重掺杂衬底，所述N型重掺杂衬底正面生长有N型轻掺杂外延层，背面设有背面金属层，所述N型轻掺杂外延层的主表面设有变掺杂层，所述变掺杂层的主表面设有势垒金属硅化物层，且势垒金属硅化物层构成肖特基势垒，所述势垒金属硅化物层正面设有正面金属层。本实用新型能够在不改变势垒金属的条件下获得不同势垒高度，并且势垒高度调节具有连续性，能够满足多样化的市场需求，有利于批量生产不同结温特性的肖特基芯片势垒二极管芯片。