一种具有复合致动水冷功能的压电变形镜

摘要

本实用新型属于光学器件技术领域，具体涉及一种具有复合致动水冷功能的压电变形镜。所述压电变形镜包括驱动层、镜面层、水冷室和电磁致动单元，所述驱动层为环形结构的压电层，压电层的两侧覆盖有电极层，所述驱动层粘接在镜面层外侧构成压电变形镜本体，所述镜面层外侧中央无压电层覆盖的区域镀有高反射膜作为压电变形镜的工作区域，所述镜面层内侧与水冷室粘结固定形成密封的腔体，腔体内通入冷却液，所述电磁致动单元包括金属片、线圈和铁芯，金属片附着在所述腔体内镜面层的内侧面上，线圈和铁芯安放在腔体外水冷室的底部外侧面上。本实用新型所述压电变形镜具有复合致动水冷功能，可有效校正球差，提高校正质量，可以用于强激光的光路校正。