金属有机物化学气相沉积氮化镓基薄膜外延生长设备

摘要

本发明是一种金属有机物化学气相沉积氮化镓基薄膜外延生长设备，它包括反应器，其特征在于反应室为管式双层结构，由内管和外管构成，内管腔为反应腔，内、外管插装在上下固定装置内，内、外管之间是冷却水腔，外管外壁绕有感应加热线圈，内管中央设有石墨基座，石墨基座是安装在一根陶瓷管上，该陶瓷管与动力传动部分相连接。反应器因配有水冷却系统，以保证加热时反应器，尤其是晶片以上部分和气体混合室的温度较低，防止气体的预反应发生，同时石墨基座以一定的速度旋转，以保证石墨基座上的晶片外延生长层的均匀性。