X射线荧光光谱仪的分光光路自动调试与校正系统

摘要

本实用新型涉及一种用于顺序式波长色散X射线荧光光谱仪的分光光路自动调试与校正系统。系统包括操作界面模块、晶体架控制模块、测角仪θ轴与2θ轴高精度步进电机控制模块、探测器数据采集模块、数据图像处理模块；系统选择被测元素谱线作为标定测角仪的基准谱线，通过布拉格方程计算出晶体掠射角与探测器出射角，将测角仪的θ轴与2θ轴旋转到指定位置，通过控制安装在θ轴与2θ轴的步进电机、晶体架、探测器实现对晶体与探测器位置的自动调整，获得晶体校正因子，从而对晶体掠射角与探测器出射角进行校正。本实用新型实现对分光光路的远程自动调试，保护调试人员免受X射线辐射，减少对调试人员调试经验的依赖，提高调试效率与精度。