ZSX100e型X射线荧光光谱仪光路系统故障分析

摘要

x射线荧光光谱分析具有分析元素范围广、分析含量范围宽、分析精度高、重现性好等优点，属于非破坏性分析，可进行薄膜的组分和厚度的分析，易于实现自动化及在线分析，被广泛应用于电子和磁性材料、化学工业、陶瓷和水泥工业、钢铁工业、非铁合金、地质矿产、石油和煤、环境等领域。x射线荧光光谱仪基本由五大部分组成，即激发系统、分光系统、探测系统、仪器控制系统和数据处理系统等。分光系统是对来自样品元素的特征谱线进行分辨和限制，除了主要部件分光晶体外，还有视野光栏、准直器和衰减器等。分光系统中的视野光栏故障会造成光路系统初始化错误，以及x射线强度异常，会导致x射线荧光光谱仪不能正常工作。