一种含超薄金属氧化物薄膜介电层的晶体管

摘要

本实用新型公开了一种含超薄金属氧化物薄膜介电层的晶体管，通过直接对栅极进行热氧化制备超薄金属氧化物薄膜介电层，使得超薄金属氧化物薄膜介电层与栅极有较好的界面接触，具有界面缺陷少，电学性能优良的特点，制备方法简单，能够极大地节省成本。