一种适用于力矩检测的差动式电容传感器

摘要

本实用新型公开了一种适用于力矩检测的差动式电容传感器，至少包括力矩输入盘、力矩输出盘、若干梯形梁、一对感应电容的动电极、一对感应电容的静电极和基板。一对感应电容的动电极分别位于力矩输入盘的外环和力矩输出盘的内环之间且与力矩输入盘的外环固连为一体；一对感应电容的静电极分别位于对应感应电容的动电极同一侧，且与对应感应电容的动电极保留有一定间隙；感应电容的动电极与感应电容的静电极组成差动式结构垂直电极型电容器。本实用新型提出的差动式电容传感器具有较好的灵敏度、较小的线性误差以及较好的抗干扰能力，此外大大提高了传感器的线性度；本实用新型可采用常规机械加工来实现，制造简单，适用于检测串联型机器人关节传递的力矩。