公开/公告号CN206858648U
专利类型实用新型
公开/公告日2018-01-09
原文格式PDF
申请/专利权人 东莞市汇成真空科技有限公司;
申请/专利号CN201720557136.1
申请日2017-05-18
分类号C23C14/32(20060101);
代理机构44104 广州知友专利商标代理有限公司;
代理人周克佑
地址 523838 广东省东莞市大岭山镇颜屋工业区莞长路颜屋路段168号
入库时间 2022-08-22 03:36:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-31
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C14/32 变更前: 变更后: 申请日:20170518
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2018-01-09
授权
授权
机译: 在微机电系统(MEMS)或微芯片中使用的基板中的纳米结构生产方法,涉及使用于纳米结构形成的溶液的液滴漂浮在基板上,并加热基板以使液滴蒸发
机译: 用于焊接过程的快速传感器系统-特别是。用于可视化脉冲弧中的液滴转移
机译: 具有结构化厚度的涂层的生产,特别是用于扫描或3D成像的微透镜网格的生产,涉及到将预水解的硅烷基原料的液滴计量到基材上并使液滴硬化