一种无液滴多弧蒸发离化源结构

摘要

本发明公开了一种无液滴多弧蒸发离化源结构，其离化源包括靶材，靶材具有产生靶材蒸发粒子的蒸发放电表面，蒸发放电表面的前方、靶材蒸发粒子通过的路径上，设有加热器，加热器设有可以让靶材蒸发粒子穿过的加热空间，加热空间平行于蒸发放电表面的横截面覆盖了蒸发放电表面、且其与靶材的蒸发放电表面之间的间距为5～30cm、加热温度范围为500～3000℃。本发明有效消除了多弧蒸发离化源产生的液滴，实现了膜层细致化和膜层致密性达标。