用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪

摘要

本实用新型公开了用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，包括主壳体、副管体、活动连接部，所述主壳体中心具有主水道，主壳体和副管体一端有限位部，所述活动连接部包括上螺套、主轴承、下螺套，所述上螺套套接于主壳体下端，所述下螺套套接于副管体上端，两限位部上表面配合一主轴承，所述上螺套与下螺套以螺纹配合连接；所述副管体中心贯穿有主水道延伸部并与主水道正对，所述主水道延伸部向下连通有若干副水道，所述副水道围绕副管体向下以螺旋状延伸，所述副水道末端上部还具有导流块。本实用新型以简洁的结构，不仅实现了管体静止情况下的水射流旋转，也加入了管体本身旋转的机构，工艺灵活多变。