湿式刻蚀用清洗装置以及湿式刻蚀设备

摘要

本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种湿式刻蚀用清洗装置以及湿式刻蚀设备，其中，所述湿式刻蚀用清洗装置(1)包括用于传送玻璃基板的传送单元(10)、位于所述传送单元上方的能够向所述玻璃基板喷清洗液的喷淋单元和位于所述传送单元下方的接液槽(11)，其中，所述接液槽的内部安装有能够将所述接液槽的内部分隔成沿所述传送单元的传送方向排列的相互独立的腔室的隔板(12)。该湿式刻蚀用清洗装置能够针对不同区域所产生的不同浓度的废液进行分别排放。将上述湿式刻蚀用清洗装置应用于所述湿式刻蚀设备中，刻蚀后的玻璃基板进入湿式刻蚀用清洗装置后，喷洗所述玻璃基板产生的不同浓度的废液进入相应的腔室，分别排放不同浓度的废液。