法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G09B9/00 授权公告日:20171124 终止日期:20181114 申请日:20161114
专利权的终止
2017-11-24
授权
授权
机译: 用于将MEMS(微机电系统)超声转换的装置,一种PMUT(压电微机械超声换能器)装置以及一种将有源转换器与多个钝化层相结合的有源矩阵转换器(一种方法)和一种用于解决问题的方法系统)超声波
机译: “一种用于微机械系统的装置和一种制造微机械装置的方法”
机译: 一种用于操作和/或测量微机械装置的方法和微机械装置