机译:一种用于微机电装置的自动电学和光学表征的系统
机译:基于形态相关共振的新型光学传感器,用于测量微机电系统设备中的热变形
机译:IrO_2 / Pt,IrO_2和Pt底部电极对基于PZT的压电微机电系统器件的结构和电性能的影响
机译:通过自动Butterworth滤波改善全息重建,以进行微机电系统表征
机译:静电微机电装置BCB的电气表征
机译:使用拉曼光谱法表征微机电系统(MEMS)装置中的残余应力。
机译:基于微机电装置的姿态航向参考系统传感单元的无线摆角测量方案
机译:聚苯乙烯/磁铁矿纳米复合材料的合成与表征:用作微机电系统(mEms)的磁性和电学性质的研究