声明
第一章 绪论
1.1引言
1.2研究背景
1.3开发TFT器件自动电学表征系统的意义
1.4 TFT电学表征测量系统研究设计和验证方法
1.5本文研究的主要内容及章节安排
第二章 TFT器件工作原理及其电学表征研究分析
2.1 TFT的结构及工作原理
2.2 TFT的主要电学表征
2.3 TFT电学表征的信号特点及测量要求
2.4本章小结
第三章 TFT自动电学表征系统实现难点及解决方案
3.1 TFT电学表征测量系统分析
3.2测试夹具设计
3.3自动控制模块设计
3.4本章小结
第四章 TFT自动电学表征系统的实现
4.1 TFT自动电学表征测量系统顶层设计
4.2测试夹具及自动控制系统硬件设计
4.3自动控制电路固件设计
4.4电脑端控制程序(上位机程序)设计
4.5本章小节
第五章 TFT自动电学表征系统验证
5.1测试验证方案
5.2测试验证数据结果
5.3本章小节
第六章 总结
6.1主要工作与创新点
6.2薄膜晶体管器件自动电学表征系统展望
参考文献
附录1
附录2
致谢
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文
上海交通大学;