一种高灵敏度三轴MEMS加速度计及其制造工艺

摘要

一种高灵敏度三轴MEMS加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体为两层结构，每层包括外框架、内框架以及质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过第二弹性梁相连接，所述质量块与所述内框架之间设置有梳状耦合结构，其中上层测量体的梳状耦合结构走向与下层测量体的梳状耦合结构走向在投影平面上相互垂直，所述上层测量体与所述下层测量体分别测量两个相互垂直方向上的加速度，所述上层测量体及下层测量体通过所述内框架形成在第三个方向上运动的整体，并通过测量与上下盖板之间电容的改变测量第三个方向上的加速度。本发明能够实现三轴同时检测，精度高，稳定性好。