机译:实现高性能三轴电容式MEMS加速度计的新设计和制造方法
机译:基于SOI技术的MEMS差分电容加速度计结构的设计与制造
机译:具有完全对称的双面H形梁结构的MEMS电容式加速度计的设计与制造
机译:用于制造三轴电容MEMS加速度计的工艺开发
机译:横向电容式MEMS加速度计灵敏度校准算法的开发与表征
机译:一种基于玻璃 - 硅复合晶片的电容MEMS加速度计的新型制造方法
机译:三轴电容MEMS加速度计的两种替代制造工艺的比较
机译:采用sUmmiT V制造工艺开发mEms双背板电容式麦克风的兼容膜。