一种加镓的AZO高密度旋转靶材

摘要

本实用新型公开了一种加镓的AZO高密度旋转靶材，包括由外至内依次设置的靶管、铟层和刚性芯杆；其中，靶管为高密度加镓的AZO陶瓷烧结旋转圆柱靶管，靶管通过铟层浇铸粘接在刚性芯杆上；所述靶管成分为氧化锌ZnO、氧化铝Al2O3和氧化镓Ga2O3，其厚度为5‑15mm；所述铟层为纯铟，所述刚性芯杆为金属芯杆。本实用新型通过加入氧化镓Ga2O3，可以改善AZO的透光率和导电性能，并且，加工完成后将其用纯铟浇铸粘接绑定到刚性金属芯杆上，获得密度不小于96％的AZOGa旋转靶材，并且，通过刚性金属芯杆，AZOGa旋转靶材性能稳定。