晶圆固定装置及晶圆测试夹具

摘要

本实用新型提供一种晶圆固定装置及晶圆测试夹具，所述晶圆固定装置包括至少一个晶圆固定架，其中，所述晶圆固定架包括：本体；位于所述本体内并与所述本体连接的载盘，其中，所述载盘的厚度小于本体的厚度；一端固定在本体上，另一端悬空并延伸至所述载盘上方的晶圆固定部；以及从所述本体凹至所述载盘或从所述载盘凹至所述本体的弧形装卸部。通过本实用新型提供的晶圆固定装置及晶圆测试夹具，解决了采用现有固定架对晶圆进行可靠性测试时，存在晶圆破裂，测试无法满足JEDEC标准及无法满足测试产能要求的问题。